Я.Метрика

Сборочное технологическое оборудование
и технологии для производства изделий
микроэлектроники

УМС-2ТКУ

Механизированная установка термозвуковой и термокомпрессионной сварки золотой и алюминиевой проволоки внахлест

Установка УМС-2ТКУ, предназначенная для точечного присоединения золотых проволочных выводов диаметром от 15 до 50 мкм к контактным площадкам без корпусных диодов методом термокомпрессионной и термозвуковой микросварки (для проволочного монтажа гибридных интегральных микросхем). Установка оснащена

Технологические возможности

• Автоматическая подстройка резонансной частоты

перед сваркой, программирование амплитуды УЗ колебаний и диагностирование акустической системы.

• Ручной режим формирования проволочных

выводов типа «волосатик» на кристалле.

• Перемещение сварочной головки по координате Z

производится от ручки с механическим приводом.

• Четыре режима (канала) сварки с автоматическим

переключением в зависимости от материала подложки.

• Хранение в энергонезависимой памяти

(«флешь память») 12 приборов со своими режимами сварки и характеристиками перемычек, при этом оператору не надо перестраивать установку на новый прибор, а просто нужно будет вызвать его из памяти установки.

• Управляемый подогрев сварочного инструмента

для интенсификации процесса сварки золотой проволоки.

• Установка может дополнительно комплектоваться

столиком с расширенной платформой 160х160 мм.

• Установка оснащена сварочной головкой

с ультразвуковым пьезокерамическим преобразователем.

• Подача проволоки в зону сварки осуществляется

через капилляр сварочного электрода.

• Точность позиционирования сварочного

электрода ± 3 мкм (с помощью манипулятора с передачей 1х8).

• Минимальный размер контактной площадки

на кристалле 30х30 мкм.

Образцы собранных приборов

Технические характеристики

Проволока Al, мкм 27 – 50
Проволока Au, мкм 15 – 50
Усилие сжатия соединяемых элементов, Н 0.2 – 2.0
Время сварки, мс 1 – 1000
Максимальная выходная мощность, УЗ генератора, Вт 1.0
Разновысотность контактных площадок, мм 5.0
Усилие сжатия соединяемых элементов, грамм 20 – 300