Я.Метрика

Сборочное технологическое оборудование
и технологии для производства изделий
микроэлектроники

УМС-2ШК

Автоматизированная установка ультразвуковой и термозвуковой сварки методом «шарик-клин» и «клин-клин»

Установка предназначена для автоматизированной термозвуковой сварки золотых проволочных выводов методом «шарик-клин», с дополнительным закреплением «клина» «шариком», с возможностью присоединения золотых шариков на контактные площадки (бампирование) и «внахлест» методом «клин-клин» Кроме того установка предназначена для автоматизированной ультразвуковой сварки алюминиевой проволоки и сварки ленты.

Технологические возможности

• Программирование до 6 типов перемычек и стежков.

• Ультразвуковой генератор может работать

в трех вариантах: с девиацией резонансной частоты; с фиксированной резонансной частотой; с возможностью программирования амплитуды колебаний сварочного электрода.

• Программирование до 100 технологических

параметров: высота, длина, угол наклона
перемычки и т. д.

• Искровой генератор выполнен с возможностью

переключения до трех диапазонов управления мощностью (искры) для проволок Ø: 20 мкм;30-40 мкм; 50 мкм.

• Оплавление шарика по схеме (-) на электроде (+)

на проволоке.

• Нагреваемый рабочий столик

(температура 20 – 250 °С) с механическим

и вакуумным прижимом.

• Возможность подогрева сварочного

инструмента (0 – 200 °С).

• Возможность присоединения золотых шариков

на контактные площадки (бампирование).

• Диагностирование акустической системы:

измерение резонансной частоты и импеданса акустической системы с выводом значений на дисплей пульта.

• Установка комплектуется ультразвуковым

генератором с возможностью автоматической подстройки резонансной частоты в процессе сварочного импульса, при этом используются ультразвуковые пьезокерамические преобразователи с резонансной частотой

Технические характеристики

Проволока, Au, Al, мкм 17 – 50
Минимальный размер контактной площадки на кристалле, мм 0,06х0,06
Минимальная длина проволочной перемычки, мм 0,05

Высота перепада высот (разновысотность)

контактных площадок, мм

6.0
Вид сварного соединения «шарик-клин» (с дополнительным закреплением «клина» «шариком»), бампирование, «клин-клин».
Усилие сжатия соединяемых элементов, грамм 20 – 300
Время сварки, мс 1 – 1000
Выходная мощность, УЗ генератора, Вт 0,01 – 2,0
Резонансная частота ультразвукового 62